上海积塔半导体有限公司特色工艺生产线建设项目中标结果公告(1)
- 2026-06-01
项目名称: 上海积塔半导体有限公司特色工艺生产线建设项目中标结果公告(1)
招标公司: 上海积塔半导体有限公司
中标公司: TokyoElectronLimited
采购标的物: 晶圆清洗机、高温退火工艺直立式炉管、接触孔刻蚀机工艺腔体
项目地区：上海 上海
【中国国际招标网】
项目名称：上海积塔半导体有限公司特色工艺生产线建设项目
招标项目编号：4197-2340SHJT0002/96
招标范围：氧化炉-高温氧化膜沉积直立式炉管、氧化炉-高温退火工艺直立式炉管、氧化炉-氘气退火工艺直立式炉管、晶圆清洗机、接触孔刻蚀机工艺腔体
招标机构：中电商务（北京）有限公司
招标人：上海积塔半导体有限公司
开标时间：2025-09-23 10:00
公示时间：2025-09-24 21:27 - 2025-09-28 23:59
中标结果公告时间：2026-06-01 15:51
中标人：Tokyo Electron Limited
制造商：TOKYO ELECTRON LIMITED
制造商国家或地区：日本
