项目名称: 中国科学院上海技术物理研究所2026年6至12月政府采购意向-低温超深宽比反应离子刻蚀系统

招标公司: 中国科学院上海技术物理研究所

采购标的物: 低温超深宽比反应离子刻蚀系统

项目地区：上海 上海

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低温超深宽比反应离子刻蚀系统

项目所在采购意向： 中国科学院上海技术物理研究所2026年6至12月政府采购意向

采购单位： 中国科学院上海技术物理研究所

采购项目名称： 低温超深宽比反应离子刻蚀系统

预算金额： 586.000000万元(人民币)

采购品目：

A02109900其他仪器仪表

采购需求概况：

低温刻蚀深度：4-10 μm；最小特征尺寸：50-100 nm；晶圆内的非均匀性：小于1%Bosch刻蚀深度：200-300μm；最小特征尺寸：50μm；晶圆内的非均匀性：小于1%

预计采购时间： 2026-06

备注：

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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