项目名称: 等离子增强原子级生长设备采购意向公示

招标公司: 上海大学

采购标的物: 等离子增强原子级生长设备

项目地区：上海 上海

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为便于供应商及时了解采购信息，现将我校快速采购意向公开如下：

1、项目概况：

（1）拟采购方式：上大迅采

（2）采购项目名称：等离子增强原子级生长设备

（3）预算金额：41万元

（4）采购需求概况：

等离子增强原子级生长设备1套，用于高深宽比器件制备，配套场效应迁移率大于90 cm²/(V·s)的IGZO-TFT（铟镓锌氧薄膜晶体管）工艺，台阶覆盖率：＞95%，工艺前后新增颗粒（直径≥0.2μm）数量≤0.3个/cm2。质保期不低于一年。供货周期：收到采购人通知后30天内送至指定地点。

（5）预计采购时间：2026年8月

（6）采购意向公示时间：2026-07-21 ~ 2026-07-26

2、联系方式：

采购人名称：上海大学

联系地址：上海市上大路99号

用户单位联系人： 杨军

联系电话： 查看完整信息

采购代理机构：上海机电设备招标有限公司

联系人：王欣怡、陈瑞麟、邓澍

联系电话：32557753、32557727、32557759 wxyi@shbid.com

联系地址：上海市长寿路285号16楼

采招中心监督员：谢金印

监督电话：021-6613 0721

本次公开的采购意向是本单位采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

上海大学

2026-07-21

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