中国科学院上海技术物理研究所2026年9至12月政府采购意向-BYC晶圆表面钝化处理系统

项目名称: 中国科学院上海技术物理研究所2026年9至12月政府采购意向-BYC晶圆表面钝化处理系统

项目地区：上海上海

BYC晶圆表面钝化处理系统

项目所在采购意向：中国科学院上海技术物理研究所2026年9至12月政府采购意向

采购单位：中国科学院上海技术物理研究所

采购项目名称： BYC晶圆表面钝化处理系统

预算金额： 134.310000万元(人民币)

采购品目：

A02209900其他航空航天工业设备

采购需求概况：

设备用于BYC碲镉汞分子束外延材料的表面钝化处理。该设备包括两个处理腔体，分别工作在高压氢气富汞气氛和常压氢气气氛下，设备耐压≥5kg/cm^2，最高工作温度≥600℃。通过该设备实施的处理工艺，可获得表面钝化的BYC碲镉汞材料。

预计采购时间： 2026-09

备注：

设备采用双腔体双工位设计实现BYC碲镉汞分子束外延前和外延后的材料表面清洁与钝化处理功能。

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。