项目名称: [招设2026C00259]高真空镀膜机采购邀请

项目编号: 招设2026C00259

招标公司: 上海交通大学

采购标的物: 高真空镀膜机、高真空热蒸发镀膜系统

项目地区：上海 上海

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项目名称 高真空镀膜机 项目编号 招设2026C00259

公示开始日期 2026-09-28 16:34:43 公示截止日期 2026-10-01 17:00:00

采购单位 上海交通大学 付款方式 货到验收合格后付款

联系人 中标后在我参与的项目中查看 联系电话 中标后在我参与的项目中查看

签约时间要求 到货时间要求 签订合同后3个月内

预算

项目概述 本次拟购置的高真空热蒸发镀膜系统，其核心目的在于搭建一条与现有惰性气体手套箱系统无缝衔接的薄膜制备工艺线，用于钙钛矿太阳能电池研究中的关键功能层制备。具体而言，该系统将利用真空蒸镀无溶剂、高纯度的工艺优势，制备结构致密、界面可控的薄膜，以优化器件能级匹配和界面接触；同时将借助高精度膜厚监测与稳定的速率控制，确保薄膜厚度与沉积速率的精确性，从而保障器件良率和电荷收集效率。此外，该系统设计支持与手套箱集成，使钙钛矿太阳能电池组建全流程在惰性气氛中连续完成，有效避免样品在转移过程中因水氧暴露而降解，显著提升实验重复性与成功率，为课题组在钙钛矿光伏器件的效率突破与稳定性研究方面提供关键装备保障。

￥ 240,000

供应商资质要求

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

收货地址 上海交通大学指定地点

采购清单 1

采购物品 采购数量 计量单位 所属分类

高真空镀膜机 1 台 真空应用设备

预算 ￥ 240,000

技术参数 指标(1)极限真空度≤5.0x10^-5 Pa;(2)抽气速率:从大气压抽至6x10^-4 Pa的时间不超过40分钟;(3)保压性能：系统停机保压12小时后，腔内压强小于10 Pa；(4)蒸镀参数:配备膜厚探头及膜厚仪，速率显示精度优于或等于0.1 A/s;膜厚均匀性≤±5%;(5)蒸发源配置:可配备不少于3组金属蒸发源和不少于3组有机束源，总计不少于6组蒸发源；(6)蒸发电源：整机配套不少于1台蒸发供电电源，电流控制精度≤0.1 A；(7)控制系统：设备需同时具备全自动控制与手动控制两种模式；软件需支持编辑、存储及调用全自动蒸镀工艺配方，并具备工艺数据记录、存储与导出功能。

售后服务 服务网点:不限;电话支持:7x24小时;服务年限:三年;服务时限:报修后24小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期:一年;

上海交通大学

2026-09-28 16:34:43

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