中国科学院上海光学精密机械研究所2024年10至12月政府采购意向-反应离子刻蚀设备详细情况

项目名称: 中国科学院上海光学精密机械研究所2024年10至12月政府采购意向-反应离子刻蚀设备详细情况

招标公司: 中国科学院上海光学精密机械研究所

采购标的物: 非金属矿物切削加工设备

项目地区：上海 上海

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反应离子刻蚀设备

项目所在采购意向： 中国科学院上海光学精密机械研究所2024年10至12月政府采购意向

采购单位： 中国科学院上海光学精密机械研究所

采购项目名称： 反应离子刻蚀设备

预算金额： 380.000000万元(人民币)

采购品目：

A02180600非金属矿物切削加工设备

采购需求概况：

主要用于熔融石英材料的精细刻蚀，通过干法刻蚀的方式，实现所需的高精度结构图形的刻蚀。

预计采购时间： 2024-10

备注：

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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