上海交通大学2025年10月政府采购意向-反应离子刻蚀设备

项目名称: 上海交通大学2025年10月政府采购意向-反应离子刻蚀设备

招标公司: 上海交通大学

采购标的物: 反应离子刻蚀设备

项目地区：上海 上海

免费查看原文

反应离子刻蚀设备

项目所在采购意向： 上海交通大学2025年10月政府采购意向

采购单位： 上海交通大学

采购项目名称： 反应离子刻蚀设备

预算金额： 540.000000万元(人民币)

采购品目：

A02109900其他仪器仪表

采购需求概况：

反应离子刻蚀设备，2台，反应离子刻蚀设备要求为：1）工作压力范围：1 Pa 至 10 Pa；2）刻蚀分辨率：≤ 50 nm；3）射频功率范围：100 W 至 1000 W；4）支持基片尺寸：150 mm；5）刻蚀均匀性：≤ ±3%。供货期：签订合同之日起，24个月货到采购人指定地点并安装验收完毕。具体事宜由成交供应商按采购人指定地点及时间安排要求执行。

预计采购时间： 2025-10

备注：

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

免费查看最新招中标公告