中国科学院上海技术物理研究所2025年10至12月政府采购意向-超高空间分辨耦合激元表征设备

项目名称: 中国科学院上海技术物理研究所2025年10至12月政府采购意向-超高空间分辨耦合激元表征设备

招标公司: 中国科学院上海技术物理研究所

采购标的物: 超高空间分辨耦合激元表征设备

项目地区：上海 上海

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超高空间分辨耦合激元表征设备

项目所在采购意向： 中国科学院上海技术物理研究所2025年10至12月政府采购意向

采购单位： 中国科学院上海技术物理研究所

采购项目名称： 超高空间分辨耦合激元表征设备

预算金额： 326.000000万元(人民币)

采购品目：

A02109900其他仪器仪表

采购需求概况：

1. 包含光子-电子耦合模式，该模式下成像分辨率2nm；2. 电子可通过专用束闸快速开关，响应时间≤50ns；3. 包含闭环光子干涉模块，配套双频激光干涉仪分辨率≤0.5nm；4. 样品台配套恒温水冷系统，温度稳定性优于±0.1℃；5. 样品台采用高精度电机加纳米压电陶瓷补偿的全闭环样品台，高精度电机保证样品台的快速移动，纳米压电陶瓷补偿保证样品台位移精度，拼接精度：≤±50 nm （mean+2σ），套刻精度：≤±50 nm （mean+2σ）；6. 包含图形发生模块，扫描频率：≥50MHz，驻留时间：≤20ns，同时配套写场畸变校正：包含激光干涉仪标定的4点校正、9点校正、标样阵列点软件自动写场畸变校正；

预计采购时间： 2025-11

备注：

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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