中国科学院上海技术物理研究所2025年10至12月政府采购意向-精密界面平坦化加工系统
- 2025-10-17
项目名称: 中国科学院上海技术物理研究所2025年10至12月政府采购意向-精密界面平坦化加工系统
招标公司: 中国科学院上海技术物理研究所
采购标的物: 精密界面平坦化加工系统
项目地区：上海 上海
精密界面平坦化加工系统
项目所在采购意向： 中国科学院上海技术物理研究所2025年10至12月政府采购意向
采购单位： 中国科学院上海技术物理研究所
采购项目名称： 精密界面平坦化加工系统
预算金额： 231.000000万元(人民币)
采购品目：
A02209900其他航空航天工业设备
采购需求概况：
（1）功能包含Grinding、CMP和CP功能；（2）表面粗糙度：Grinding小于10nm，CMP和CP小于1nm；（3）加工尺寸范围 ：兼容 6 英寸及以下圆形和方形；（4）平整度 ：优于6μm@6 英寸 ；（5）适用材料特性 ：适宜于软脆材料，耐受腐蚀性强酸强碱性化学试剂。
预计采购时间： 2025-11
备注：
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
