中国科学院上海技术物理研究所2025年10至12月政府采购意向-高深宽比限域结构刻蚀机
- 2025-10-17
项目名称: 中国科学院上海技术物理研究所2025年10至12月政府采购意向-高深宽比限域结构刻蚀机
招标公司: 中国科学院上海技术物理研究所
采购标的物: 刻蚀机
项目地区：上海 上海
高深宽比限域结构刻蚀机
项目所在采购意向： 中国科学院上海技术物理研究所2025年10至12月政府采购意向
采购单位： 中国科学院上海技术物理研究所
采购项目名称： 高深宽比限域结构刻蚀机
预算金额： 350.000000万元(人民币)
采购品目：
A02209900其他航空航天工业设备
采购需求概况：
（1）承片台尺寸：>=200mm（2）刻蚀非均匀性：<=±5%；（3）刻蚀深宽比：>=10:1
预计采购时间： 2025-11
备注：
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
