中国科学院上海技术物理研究所2025年10至12月政府采购意向-大尺寸衬底表面辅助处理及晶格重构系统

项目名称: 中国科学院上海技术物理研究所2025年10至12月政府采购意向-大尺寸衬底表面辅助处理及晶格重构系统

招标公司: 中国科学院上海技术物理研究所

采购标的物: 晶格重构系统大尺寸衬底表面辅助处理

项目地区：上海 上海

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大尺寸衬底表面辅助处理及晶格重构系统

项目所在采购意向： 中国科学院上海技术物理研究所2025年10至12月政府采购意向

采购单位： 中国科学院上海技术物理研究所

采购项目名称： 大尺寸衬底表面辅助处理及晶格重构系统

预算金额： 390.000000万元(人民币)

采购品目：

A02209900其他航空航天工业设备

采购需求概况：

（1）具备表面低温等离子处理功能；（2）衬底直径：6-8英寸；（3）镀膜非均匀性：<=1%；（4）薄膜击穿电压：>=10MV/cm；（5）样品温度：25-400℃。

预计采购时间： 2025-11

备注：

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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