SGKY20260400088-载物台控制模块

项目名称: SGKY20260400088-载物台控制模块

招标公司: 紫金山实验室

采购标的物: 载物台控制模块

项目地区：上海 上海

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申购单号：NCRPMLABS2026000117

申购主题：SGKY20260400088-载物台控制模块

采购单位：紫金山实验室

发票类型：增值税专用发票

币种：人民币

预算：None

付款方式：货到验收合格后付全款，如有异议请备注。

参考商品链接：None

备注：货期、质保等必要信息请备注。

品牌:不限

型号:/

规格参数:1、XY轴移动平台指标- 移动范围：203mm×203mm- 移动分辨率：1μm（0.04mils）- 定位重复性：≤2μm（0.08mils）- 移动速度：＞50mm/sec（2in./sec）- 马达驱动系统：配备交叉滚子五相步进电机- 反馈系统：配置分辨率1μm的闭环光学线性编码器- 标准动作移动时间：≤750ms（标准流程：200μm Z轴下移 - 1000μm XY轴移动 - 200μm Z轴上移）2、Z轴移动平台指标- 移动范围：5mm- 移动分辨率：1μm- 定位重复性：2μm3、 Theta旋转平台指标- 转动范围：±5.5°- 定位重复性：2μm4 、软件控制功能指标- 移动模式：兼容步进移动、快速移动两种工作模式，满足不同场景使用需求- 位置显示：实时显示XYZT四轴当前坐标数值，支持自定义点位归零操作- 模式切换：支持软件一键快捷切换自动与手动移动模式，操作简便高效5、搭载 8 寸圆形镀镍多孔载物台，台面平整度≤10μm；样品台手动移动行程为 200mm×200mm。6、采用增大型载物平台面，可同时容纳 4 个射频针座；配备多探针快速定位结构及探针射频测试装置，实现信号快速接入待测器件。7、设备配备 EMO 紧急停止装置，可实现紧急安全停机，保障操作人员人身安全。8、采用抽拉式可外移载物台结构，载物台可完全抽出至腔体外部，便于晶圆取放操作。

质保及售后服务:1. 按行业标准提供服务；2. 严格参数要求不得更改技术参数指标；3. 需要现货中标,中标后3天能提供； 4. 提供货品时，需同步搭建显微观测环境，实时演示芯片显微成像。

数量:1.0

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