面向智能传感器的MEMS异质异构集成共性工艺平台项目等离子体金属刻蚀设备采购项目

项目名称: 面向智能传感器的MEMS异质异构集成共性工艺平台项目等离子体金属刻蚀设备采购项目

招标公司: 上海新微技术研发中心有限公司

中标公司: 北京北方华创微电子装备有限公司

采购标的物: 等离子体金属刻蚀设备

项目地区：上海 上海

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项目名称：面向智能传感器的MEMS异质异构集成共性工艺平台项目等离子体金属刻蚀设备采购项目

招标项目编号：查看完整信息004

招标范围：等离子体金属刻蚀设备

招标机构：上海国际招标有限公司

招标人：上海新微技术研发中心有限公司

开标时间：2026-04-21 10:30

公示开始时间：2026-04-21 13:30

评标公示截止时间：2026-04-24 23:59

中标候选人名单：

候选人排名 投标商名称 制造商 制造商国别及地区

1 北京北方华创微电子装备有限公司 北京北方华创微电子装备有限公司 中国

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